蔡司三坐標測量機在維護全過程之中覺得下面幾個方面情況理應產(chǎn)生特別注意，這也是各位在應用蔡司三坐標測量機的環(huán)節(jié)當中的一點經(jīng)驗和指導。

　　1、空氣壓力和質量

　　蔡司三坐標測量機一般是應用氣浮軸承，運作的小氣壓應是0.45兆帕斯卡。在工作上應維護氣壓在0.5-0.8兆帕斯卡相互之間，才可以確保測量機的良好運作。雖然有時氣壓在0.45兆帕斯卡設備也可以運作，但應在意到X、Y、Z在運作環(huán)節(jié)當中氣壓會出現(xiàn)損害，那樣氣浮塊的間距小，若是氣浮塊中有煙塵或細小微粒，會使導軌刮傷，比較嚴重時干擾測量精度或制作成三軸運作卡死。

　　2、導軌的清洗和光柵的養(yǎng)護

　　導軌維護清潔，必要應用浸濕過清潔航空汽油或無水乙醇的脫脂棉或絲綢布來清洗;在裝、卸零部件時要尤其留意，避免 磕磕碰碰導軌。

　　光柵尺的養(yǎng)護直觀干擾讀數(shù)的精密度，Z軸光柵尺外露在外界環(huán)境中，而X和Y向光柵尺被外罩蓋。因此 要格外留意Z軸光柵尺，避免 劃痕。應用泡過清潔航空汽油絲綢布來清洗，讓光柵尺干燥。

　　3、過濾器的清洗

　　要按時清洗過濾器，當看到過濾器的濾芯出現(xiàn)變色，就得清洗。取下塑料杯、濾網(wǎng)，用中性洗滌劑(各位用四氯化碳溶液)清洗，再應用清潔的氣體烘干。從頭開始裝上后，精確測量壓力，有必要就調(diào)整它。

　　4、電子控制系統(tǒng)的維護

　　電子控制系統(tǒng)是蔡司三坐標測量機的關鍵一部分，應當算是較為穩(wěn)定的，但不允許被忽略對它的檢測和維護。長期應用，一點接口、插片有可能松動。有一次各位看到，在開機以后，坐標軸“Home”時犯錯誤警報，清查看到原來是接口松動制作成的。